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        真空腔體
        • 客制化模組及客制腔體是依照客戶需求進行設計和工程規劃,組裝及測試完成后即可使用,提供客戶特定的操作如真空排氣、基材除氣和產品檢驗等功能,客制化模組通常包括了真空腔體、架臺、真空PUMP、真空管路及控制系統等基本配備,各種組件都可以依照客戶規格來搭配。
        • 連續式(In-line)設備腔體的幾何形狀大都為矩形,依照基板傳輸方位可分為立式和臥式,腔體之間視制程的需求裝置閥門作為區隔,連續式腔體可以應用在:防電磁波干擾(Anti-EMI)鍍膜設備,表面裝飾鍍膜(SDC)設備、觸控面板鍍膜設備、薄膜太陽能電池鍍膜設備,Low-E玻璃鍍膜設備。
        • 批次式(Batch type)設備的腔體形狀及尺寸不一,例如要求冷卻效果而設計的雙層腔體,為了提升產能而設計的雙門腔體,其他如真空度要求、成膜方式、制程氣體種類及基板材質等都會影響真空腔體的設計,穗誠真空設備可以配合客戶需求并提供相關參考經驗達到真空腔體設計的最佳化。
        • 先進制程的開發初期都需要在實驗室進行許多測試,匯成真空設備制造之客制化真空腔體裝配于多種實驗設備,為研究者提供了適當的工具以進行各項先進制程實驗。
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