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        電弧蒸發
        電弧蒸發是物理氣相沉積的一種方式澳门网上在线投注平台。

        什么是電弧蒸發?
               電弧蒸發是物理氣相沉積的一種方式澳门网上在线投注平台,PVD應用于硬質涂層方面就是從電弧技術開始的澳门网上在线投注平台,電弧技術最早起源于電焊澳门网上在线投注平台,將被蒸發的固體金屬(靶材)置于真空腔室內澳门网上在线投注平台,產生輝光放電后,在靶材表面運行澳门网上在线投注平台,靶材在很小的范圍內蒸發澳门网上在线投注平台,大概是幾個微米大小。電弧的運動是由磁場所控制的,蒸發出的金屬離子形成的等離子體將沉積于工件表面澳门网上在线投注平台,這些工件是在真空腔內旋轉運動澳门网上在线投注平台,電弧制備的涂層通常被用于工具和零部件的表面涂層澳门网上在线投注平台澳门网上在线投注平台,例如,TiN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, TiCN, CrCN 和 CrN。蒸發的金屬被電離同時加速進入電場澳门网上在线投注平台,電弧工藝中實現蒸發材料的高度電離澳门网上在线投注平台,沉積涂層具有優異的附著力澳门网上在线投注平台。

        電弧工藝示意圖
                                       電弧工藝的示意圖

        電弧技術的優點:
        + 高沉積速率(~1-3 µm/h) 
        + 高離化率,形成結合力好澳门网上在线投注平台,致密的涂層 
        + 靶材冷卻,涂層工件受熱較少澳门网上在线投注平台,這樣可以在低于100°C以下沉積 
        + 可以蒸發多種成分的金屬澳门网上在线投注平台,剩余固態靶材成分不變 
        + 陰極可以放置在任何位置(水平、垂直、上部和下部),設備設計靈活

        電弧技術的主要缺點:
        - 靶材材料受限
        - 只能使用金屬(不包含氧化物),導致蒸發溫度不會低 
        - 由于很高的電流密度澳门网上在线投注平台,一些靶材材料以小液滴的形式被蒸發濺出

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